在半导体及液晶面板行业超纯水制程中，离子交换因其对TOC以及二氧化硅、硼等离子优秀的脱除能力而被广泛应用。

预过滤水从活性炭过滤器出来后，即被导入阳、阴离子交换器由阳离子交换器的顶部流向底部；此阳离子交换器内填装有强酸性阳树脂，包含钙、镁、钠、铵根等阳离子在此与氢离子（H+）进行置换。

从阳离子交换器出来的水通过脱气塔，去除二氧化碳，再流入阴离子交换器，阴离子交换器填装有弱碱性阴离子树脂（上层）与强碱性离子交换树脂（下层），亚硫酸根、硝酸根、氯离子、氟离子等阴离子在此从水中去除。

组成结构：

• 2B：代表两床（Beds），即阳床和阴床。
• 3T：代表三塔（Towers），其中包括脱碳塔。

工作原理：

• 阳床：利用阳离子交换树脂吸附水中的阳离子。
• 脱碳塔：用于去除水中的CO2（二氧化碳），通过这一过程减少水的碱度。
• 阴床：利用阴离子交换树脂吸附水中的阴离子。

功能特点：通过阳、阴离子交换过程，可以将水的电导率降低到1 μs/cm以下。脱碳过程有助于提升后续反渗透（RO）系统的回收率，通常可达到90%以上。

应用领域：该系统广泛应用于半导体、液晶面板制造等需要超纯水的行业。适用于各种制造过程中的清洗用水以及锅炉给水